SiC多孔陶瓷真空吸盤用SiC細粉
SiC多孔陶瓷比其他陶瓷具有更優異的優勢。如強度高、耐腐蝕性能優良、耐高溫、熱導率高、熱膨脹係數低、抗熱震性佳。因此它是半導體工業中用於鍵合、切割、貼帶、拋光等理想的真空吸盤陶瓷。 SiC細粉正是SiC多孔陶瓷真空吸盤的原料。
碳化矽多孔陶瓷真空吸盤專用黑碳化矽細粉的優點有:
1.耐磨、耐高溫。可滿足卡盤長期連續運轉的需要。
2.熱膨脹率低,可防止因體積變形而造成的失效。
3.耐腐蝕性強。碳化矽細粉在高溫條件下不與吸附材料反應。
4.化學穩定性強,在真空環境下不會產生腐蝕氣體或短路。
5.碳化矽微粉粒度可控。適用於超薄碳化矽陶瓷真空吸盤的生產。
6.經化學清洗、水洗後,黑色碳化矽超細粉的含量及含量很低。