PZT材料拋光用綠色碳化矽微米

綠碳化矽微米是一種硬度高、機械強度高的非金屬磨料。它可以進行積極的研磨。綠碳化矽對於PZT（壓電陶瓷）材料的研磨俱有很大的優勢。

PZT是一種將機械能和電能相互轉換的功能陶瓷材料。廣泛應用於光學、半導體、儀器儀表等領域。然而，陶瓷易碎且難以通過壓電進行加工。在PTZ陶瓷的後期表面處理階段，使用雙面拋光機對PZT晶片進行研磨拋光。一般PZT的表面處理，如分級粗化和磨削，是用50微米、40微米、20微米、 14微米的綠色碳化矽進行的。. 粗化後晶圓表面均勻無划痕，粗糙度可達1.2-1.5um。在精拋和細磨階段，選用14微米、7微米、5微米的白剛玉粉進行細磨。拋光後的產品粗糙度小於50nm。

為達到無划痕拋光的研磨效果，需要嚴格控制綠色碳化矽磨料的粒度。在這種情況下，粒徑應盡可能相同，粒徑範圍應較窄。如果有大顆粒，很容易損壞陶瓷表面。如果有很多細顆粒，會降低研磨效率。因此，水洗溢流分級的綠色碳化矽粉是合適的磨料。