藍寶石晶圓拋光研磨用GC粉
在藍寶石晶片拋光領域,常用的研磨材質是碳化硼。但碳化硼的價格較高,對於需要快速去除的場合,GC粉(綠色碳化矽粉)也能達到理想的研磨效果。
GC粉具有以下優點:
1.硬度高、耐磨。
綠碳化矽是一種硬度極高的材料。雖然無法與鑽石、立方氮化硼等超硬材料相比,但完全可以與碳化硼相媲美。這種高硬度使其能夠在磨削過程中有效切割藍寶石晶體,減少磨損並提高研磨效率。
2.化學穩定性好。
GC拋光粉在研磨過程中具有優異的化學穩定性,不易與藍寶石晶體或其他研磨介質反應,確保了研磨過程的穩定性和最終產物的品質。
3.導熱係數高。
GC研磨粉具有高導熱性,這意味著研磨過程中產生的熱量可以快速散發,從而減少熱應力對藍寶石晶體的損害,保持晶體的完整性和光學性能。
4.顆粒大小均勻。
GC磨料粉經過精細加工,達到均勻的粒徑分佈,有助於達到更均勻、精密的研磨效果,確保藍寶石晶面的光滑度和一致性。
5.成本效益。
GC粉的價格比碳化硼低,可以控制粗拋製程的成本,提高效率。