綠碳化矽線鋸VS。鑽石繩鋸
綠碳化矽粉是光電產業常見的線鋸材料。近年來,光電產業明顯萎縮,線鋸主要用於半導體產業的矽片切片。由SiC粉製成的鑽石線與鋼絲和鑽石粉結合而成,已成為切屑鋸切的兩個主要工具。兩種線鋸方法的差別是:
1.綠碳化矽粉繩鋸是磨料顆粒在晶錠上的滾動磨削。鑽石線切割是一種直接鋸切工藝,其中磨料顆粒固定在金屬線上。
2.切割碳化矽絲時,磨料研磨的速度為鋼絲速度的一半。用鑽石線切割時,磨料切割速度與鋼線同步。
3.綠碳化矽漿料對晶片表面損傷較小。鑽石線切割的表面粗糙度低於碳化矽漿料切割。
4.碳化矽繩鋸成本比金剛繩高。
5.鑽石對晶錠的去除率比碳化矽線切割高數倍。
6.綠碳化矽和乙二醇的鋸切漿液不如金剛線環境清潔。
整體而言,綠碳化矽微粉線鋸和鑽石線切割各有優缺點。雖然鑽石線切割已成為目前線切割的主流方法。綠色SiC微粉還具有適合表面粗糙度要求高的工作的合理性。綠碳化矽粉1500目、2000目顆粒均勻、淨度高、切削力強,是碳化矽線切割常用的粒徑。