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半導體設備用黑碳化矽粉800#-多孔碳化矽陶瓷
在半導體生產設備中,高性能陶瓷元件不可或缺。尤其是碳化矽陶瓷是蝕刻機、光刻機、離子注入機等關鍵設備中的重要部件,例如研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢查吸盤、刻蝕製程、運動平台等都具有碳化矽陶瓷的存在。這些碳化矽陶瓷零件具有良好的結構穩定性、熱穩定性、耐磨性、耐腐蝕性、尺寸精度高。碳化矽微粉作為生產碳化矽陶瓷的主要原料,也必須具備良好、穩定的性能。其中,多孔碳化矽陶瓷吸盤用黑色SiC粉800#是典型應用。
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在半導體生產設備中,高性能陶瓷元件不可或缺。尤其是碳化矽陶瓷是蝕刻機、光刻機、離子注入機等關鍵設備中的重要部件,例如研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢查吸盤、刻蝕製程、運動平台等都具有碳化矽陶瓷的存在。這些碳化矽陶瓷零件具有良好的結構穩定性、熱穩定性、耐磨性、耐腐蝕性、尺寸精度高。碳化矽微粉作為生產碳化矽陶瓷的主要原料,也必須具備良好、穩定的性能。其中,多孔碳化矽陶瓷吸盤用黑色SiC粉800#是典型應用。
樹脂結合劑超級磨料是以人造鑽石或立方氮化硼為主要原料製成的磨俱。除了超硬磨料之外,超硬磨俱中也常添加填充材料,以達到強化、增加孔隙率、降低成本的目的。綠色SiC粉作為超硬磨俱的填充材料,具有以下功能和優點:
重塑綠碳化矽100#砂粒採用特殊破碎、製砂製程加工而成。堆積密度高於一般綠碳化矽顆粒,顆粒較多。生產碳化矽陶瓷零件時,在同一容器中添加較多的碳化矽,有利於提高防彈陶瓷的密度和機械強度。兩者的差異如下圖所示:
在新型建築材料領域,泡沫玻璃保溫材料發展趨勢迅速。泡沫玻璃的別稱是陶瓷海綿。作為外牆保溫材料,具有保溫效果好、阻燃、不變形、使用壽命長等特性。綠色SiC粉末是一種流行的陶瓷材料,綠色SiC 10000#是α相綠色碳化矽粉末,SiC純度超過98%。其粒徑範圍在0.3um-2.5um之間,D50中位數粒徑為0.6-0.8um。這種超細SiC粉末不僅是一種精細研磨的拋光粉,還可以添加到複合材料中以改善其物理性能。
碳化矽微粉是一種高硬度非金屬磨料產品。在合成材料中硬度僅次於鑽石。天然礦物中碳化矽材料很少。同時,在工業領域的使用範圍也很大。碳化矽是關係國計民生的重要產業。因此,透過艾奇遜製程冶煉生產是碳化矽磨料生產的必然選擇。但碳化矽的生產產業和設備複雜,耗電量大。中國碳化矽磨料生產企業逐步探索,目前中國碳化矽磨料產能佔全球80%以上。
GC磨料粉是指粒度為240目-10000目的綠色金剛砂粉。是一種流行的研磨材料、陶瓷原料、耐磨材料。綠碳化矽是以石油焦、矽砂、焦炭為原料,以木屑、食鹽高溫冶煉而成的特殊材料。 GC磨料粉是大塊綠碳化矽經破碎、研磨、酸洗、溢流分級、乾燥所得的細顆粒。由於其優異的特性,在國防、航空航太、電子、化工冶金、汽車等領域有著優異的應用。