半導體設備用黑碳化矽粉800#-多孔碳化矽陶瓷
在半導體生產設備中，高性能陶瓷元件不可或缺。尤其是碳化矽陶瓷是蝕刻機、光刻機、離子注入機等關鍵設備中的重要部件，例如研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢查吸盤、刻蝕製程、運動平台等都具有碳化矽陶瓷的存在。這些碳化矽陶瓷元件具有良好的結構穩定性、熱穩定性、耐磨性、耐腐蝕性、尺寸精度高。碳化矽微粉作為生產碳化矽陶瓷的主要原料，也必須具備良好、穩定的性能。其中， 多孔碳化矽陶瓷吸盤用黑色SiC粉800#是典型應用。
隨著SiC粉體生產的精細化，理化性能和粒度穩定性都取得了顯著的進展。經過篩選、酸鹼洗、水洗精製而成的細黑SiC粉，較適合半導體等高科技領域的要求。具體特點如下：
1.高溫穩定性好。
黑色SiC粉末具有極高的熔點和熱穩定性，使得多孔陶瓷在高溫環境下仍能保持良好的性能。
2、純度高。
黑碳化矽粉經化學處理及水洗後，磁性含量低，遊離碳含量低，流動性好，易分散。
3.粒徑濃度高。
粒徑一致性高，粉末顆粒範圍窄，堆積密度高。可提高碳化矽陶瓷的緻密度。
4.優良的機械性質。
黑碳化矽具有高硬度、高強度和優異的抗壓性。它可以增強多孔陶瓷的機械強度和耐磨性。
5.化學穩定性強。
黑碳化矽對酸、鹼和大多數化學物質具有良好的耐腐蝕性。可以提高多孔陶瓷的化學穩定性和耐腐蝕性。
6.導熱性能好。
由於黑碳化矽的導熱係數高，多孔陶瓷可以更有效地傳遞和分散熱量。
7.熱膨脹係數低。
黑碳化矽具有較低的熱膨脹係數。它有助於減少多孔陶瓷在溫度變化下的熱應力和損壞。
8.增強抗氧化能力。
黑色SiC可提高多孔陶瓷的抗氧化能力，延長其使用壽命。
綜上所述，採用黑碳化矽作為多孔陶瓷的添加劑或基材，可顯著提升其高溫穩定性、機械性能、化學穩定性等各種性能。這些優點使其更廣泛地應用於高溫、高壓、高腐蝕環境，特別是半導體設備產業。
